无线通信的发展要求系统中的无源器件小型化

以实现系统单片集成。微加工技术制作的无源器件不仅可以满足小型化要求

而且在 30 0kHz到 14 5MHz频段内

其品质因子 （Q值 ）可高达 50 0 0 0。鉴于此

本文以表面加工技术、体加工技术以及键合技术制作的MEMS谐振器以及由它和耦合梁组成的滤波器为重点

介绍了它们的工作原理、设计和制作方法

最后讨论了在高频范围内制约MEMS谐振器件工作性能的因素。